(高精度恒溫恒濕潔凈空調,超高精空調機)
佛山市佳以特冷熱設備有限公司從高精度、可靠性、節能性入手;研發生產出具有自主知識產權(國家專利號:ZL.6)的高精度空調、高精度恒溫恒濕潔凈空調,提供穩定的溫度T±0.08℃(T=18-25℃),濕度RH±1%(RH=45-60%)的高精度空調;高精度冷水機組和溫度T±0.1℃(T=10-25℃);超高精度空調產品、超高精度冷水機組及其系統的整體解決方案。
佛山市佳以特冷熱設備有限公司開發了先進人工智能模糊控制系統;高精度冷、熱源平衡控制系統、高精度恒溫加濕系統,空氣潔凈過濾系統HEPA,均取得國家專利保護。具有控制精度高,正常情況下能在設置溫度±0.1℃內的變化;從開機到溫度平衡穩定運行時間短;對空調進風溫度變化要求低(進風±2℃/H的情況下出風口溫度能控制在±0.1℃/H內),利用專利熱回收技術,對溫度進行調控,相比采用電加熱可控硅控制普通高精度空調耗電極底,確保高精度空調長期可靠穩定運行,機身采用304鏡面不銹鋼機殼滿足對室內高級別潔凈度的需求。
佳以特高精度恒溫恒濕空調應用于光學傳感器制造與測試環境,金屬納米級加工環境;高精密測量;半導體光刻機,LDI曝光、涂布等工藝環節;也可以用于:涂膠顯影機,電子束曝光;液晶等離子面板制造等各個行業領域,佳以特冷熱設備有限公司為客戶量身定制,OEM服務。
詳細資料請聯系:;王先生
1、光刻機專用空調機
2、涂膠顯影專用空調機
3、LDI曝光機專用空調機
測試結果:溫濕度控制曲線照片:
備注:綠色線為監控曲線,紅色線為出風溫度曲線
備注:綠色線為監控曲線,紅色線為出風溫度曲線