(無塵車間如何對半導體材料除濕?)
半導體材料無塵車間也要除濕:無塵車間又稱凈化車間,現在廣泛應用于電子器件、半導體材料、生物醫學、生物技術等生產加工制造行業。由于凈化車間的生產制造,證明商品的成功率和精度不易造成環境污染。清潔生產車間蒸汽空氣濕度規律性很高,生產加工業清潔生產車間蒸汽空氣濕度規律性不同,半導體器件清潔生產車間蒸汽空氣濕度規律性為45%60%rh,尺寸公差誤差為1%,超過或低于1%。
那么氣體空氣濕度高于生產加工規定,對無塵車間有什么危害呢?起初,病原菌會繼續絕癥,這將降低潔凈室的水平:我們知道病原菌和其他外來物種(黃曲霉、病毒感染、病菌、滿蟲)可以在空氣相對濕度超過60%的地理環境中活動繁殖。當空氣相對濕度超過30%時,一些腸道益生菌可以升高。當空氣濕度在40%~60%之間時,病原菌的危害和上呼吸道感染至少可以減少。
其次,較高的空氣相對濕度會導致生產線設備腐蝕,降低使用壽命。雖然許多工業設備的外殼是由塑料或不銹鋼板芯等非金屬材料制成的,但許多部件仍然是由銅或不銹鋼板等金屬材料制成的。在高低溫地形下,零件容易生銹,從而降低工業設備的使用壽命。
再次操縱空氣相對濕度,可以為員工提供舒事的辦公環境,氣體空氣濕度在40%~60%范圍內??諝庀鄬穸冗^高會讓人感到無聊,而空氣相對濕度低于30%會讓人感到干燥、皮膚開裂、呼吸道不適、情緒緩慢。
罪終產品會潮濕,導致產品質量下降。半導體應用于其單側導電能力。一旦潮濕,就會變成電導體,容易出現短路故障的常見故障,損害產品特性。而且空氣相對濕度的增加會繼續損害半導體輔助材料的其他特性。以半導體光刻工藝為例,實驗證明,光刻工藝的粘度會隨著空氣相對濕度的增加而迅速降低。
因此,半導體無塵車間應盡可能做好濕度控制工作。在南風和雨季潮濕的情況下,為了準確保證半導體的生產加工規定,盡量使用專業的除濕機械設備進行防潮除濕。除濕機是一種專業的除濕機械設備,采用冷凍除濕專業,除濕速度更快,操作過程簡單方便快捷,是半導體無塵車間控濕的好選擇。